Kväve med hög-renhet används som skydds- och bärgas vid tillverkning av integrerade kretsar, halvledare och elektroniska vakuumenheter; den tjänar som en bärargas vid kemisk ångavsättning; den bär gasen i vätskediffusionskällor; och den fungerar som en skyddsgas för enheter i hög-temperaturdiffusionsugnar.
Hög-kväve används som gas för undanträngning, torkning, lagring och transport i processer som epitaxi, fotolitografi, rengöring och förångning. En kväverenhet på 99,99 % eller högre krävs vid tillverkning av katodstrålerör. Inom flygteknik måste tankningssystem för flytande väte först renas med hög-kväve, följt av hög-helium.
I december 2025 godkände och släppte den statliga förvaltningen för marknadsreglering det nationella standardmaterialet för hög-kväve, som används i nyckelprocesser som rengöring, etsning och deponering vid tillverkning av halvledarenheter, såväl som i processer som fotolitografi, jonimplantation och oxidation i produktion av integrerade kretsar.