Specialgaser avser binära eller fler-komponentblandningar av rena gaser, hög-rena gaser eller hög-basgaser, som har specifika krav på renhet, sammansättning eller prestanda, och som används inom specifika områden.
Definition: Specialgaser har strikta krav på renhet, föroreningshalt, stabilitet och andra indikatorer. De framställs vanligtvis genom speciella processer (såsom kryogen destillation, adsorption, membranseparation etc.) för att möta behoven av precisionstillverkning eller vetenskaplig forskning.
Klassificering: Elektroniska gaser: Används inom halvledar-, bildskärms- och andra elektronikindustrier, som silan, hög-ammoniak och svavelhexafluorid, som kräver extremt hög renhet och partikelstorlek.
Gaser med hög-renhet: Med en renhet på 99,999 % eller högre, som väte med hög-renhet och helium med hög-renhet, som används inom laboratorieanalys, laserteknik och andra områden.
Standardgaser: Gaser blandade i specifika proportioner, som används för instrumentkalibrering eller miljöövervakning, såsom standardblandningar som innehåller kolmonoxid och svaveldioxid.